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更新于 2026-10-07

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三氟化氮在半导体及TFT-LCD制造的薄膜制程中扮演「清洁剂」的角色,不过这类清洁剂是气态,而非液态。

在半导体中,薄膜制程的主要设备是「化学气相沉积」(CVD)机台,会在晶圆片上长出薄膜。薄膜的成份有可能是矽、二氧化矽或其他金属材料,但这些材料不仅会附著在晶片上,也附著在反应室内的墙壁上,内墙上的二氧化矽累积至相当数量,就会在反应室内形成微尘粒子(Particle),影响晶圆片的良率。

因此每台CVD机台在处理过规定数量的晶圆片后,就要使用含氟的气体清洗,以去除内壁上的矽化物质。不过NF3与CF4、C2F6等气体都属于多氟碳化物,是造成温室效应的来源之一。半导体厂为了降低排气对温室效应的影响,在排放含氟废气前,会以高温(摄氏700、800度才进行)将气体由有机转分解为无机,才不会破坏臭氧层。

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本鱼分布在太平洋区,包括日本南部、台湾、法属波里尼西亚、帛琉、萨摩亚群岛等海域。

本鱼体呈橘红色,体侧背部及背鳍上有许多黄色横斑,口大,上下颌前端具小犬齿。背鳍硬棘5枚,的第一棘第二鳍棘均短小,而第三鳍棘特别长,而越往后的鳍棘越短,软条17至18枚,臀鳍硬棘3枚,软条7枚,尾鳍末端凹入,胸鳍延长,软条13枚。侧线在背鳍鳍棘部上升而在鳍条处陡降。体被细小栉鳞,主上颌骨及颐部无鳞;颊部鳞6列,侧线完整,侧线鳞孔数35至37枚。体长可达20公分。

栖息于岩礁区,为肉食性鱼类,以鱼类及甲壳类为主食。因多出产于较深水域且少见,不易捕获。

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嘉靖三十七年(1558年)戊午江西乡试第二名举人,隆庆二年(1568年)戊辰科会试第二名,殿试第二甲第三十一名进士。改庶吉士,授翰林院编修,编修《世宗实录》。万历八年(1574年)六月,任司业。万历十九年(1591年)转任吏部侍郎,兼任东阁大学士,后改任文渊阁大学士,因第一次妖书案获罪,回乡隐居于南昌南湖,僻湖上小洲为别墅,取名“杏花楼”。以文会友,曾与汤显祖、刘应秋等人于此饮酒纵诗。熹宗天启年间,追赠太保,谥文庄。

张位贯通经史,工诗善文,著有《闲云馆集钞》六卷、《丛桂山房汇稿》、《词林典故》一卷、《问奇集》、《警心类编》、《史职议》一卷等。

曾祖父张瑞,寿官 赠府同知;祖父张元春,知府 食从三品俸进阶亚中大夫;父张贺,光禄寺署丞。母陈氏。慈侍下。兄儒、伯、作(贡士)、准。弟佩、化、份、仍、任。

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