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更新于 2026-10-06

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爱奇淫常见问题汇总

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靶形成负电极,基板形成带正电电极。通过使用(例如,作为稀有气体的原子碰撞电离氩气)形成在一个气体空间的等离子体(氩低压等离子体),带负电荷的电子和带正电荷气体离子诸如Ar的组件,或通过在基片的方向上施加的直流电压目标。它在目标上遇到永久的正离子流; 因此名称叫直流溅射,直流或直流溅射。在与目标颗粒撞击时,通过动量传递从目标喷射粒子,该动量传递在基板方向上远离目标移动并在那里作为薄层沉积(沉积)。

该方法的主要缺点是它只能用于导电靶材料。对于电绝缘材料,将通过目标和基板的新电荷载体的恒定供应来充电,因此补偿直流电压场并阻碍溅射过程,因为随后的离子将被电击穿。另外,可实现的溅射速率以及因此涂覆速率相对较低,因为在所使用的低压等离子体中仅形成少量溅射气体离子。

上述双电极变体也称为直流二极管溅射。另外,还存在诸如直流三极管溅射的其他形式,其中靶被布置为等离子体室外部的第三电极。以这种方式,等离子体产生和溅射过程可以解开耦合。

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旧皮耶巴尔加堂区(Vecpiebalgas pagasts)是拉脱维亚维泽梅地区,采西斯市镇下辖的一个行政单位。它是该市镇21个堂区之一。在2021年行政区划改革之前,旧皮耶巴尔加堂区是前旧皮耶巴尔加市镇的5个堂区之一。在2009年行政区划改革之前,旧皮耶巴尔加堂区是前采西斯区的21个教区之一。在法律上,旧皮耶巴尔加堂区的领土是维泽梅地区的一部分。

* Vecpiebalga - 堂区行政中心

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