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化学机械平坦化是表面全局平坦化技术中的一种，既可以认为是化学增强型机械抛光也可以认为是机械增强型湿法化学刻蚀。该工艺使用具有研磨性和腐蚀性的磨料，并配合使用抛光垫和支撑环。抛光垫的尺寸通常比硅片要大。抛光垫和硅片被一个可活动的抛光头压在一起，而塑料的支撑环则用于保持硅片的位置。硅片和抛光垫同时转动（通常是以相反的方向转），但是它们的中心并不重合。在这个过程中硅片表面的材料和不规则结构都被除去，从而达到平坦化的目的。平面化后的硅片表面使得干式刻蚀中的图样的成型更加容易。平滑的硅片表面还使得使用更小的金属图样成为可能，从而能够提高集成度。
化学机械平坦化是在机械抛光的基础上根据所要抛光的表面加入相应的化学添加剂从而达到增强抛光和选择性抛光的效果。
氧化硅抛光主要被应用于平坦化金属层间淀积的层间介质（ILD），其基本机理是Cook理论。磨料中的水和氧化硅发生表面水合作用，从而使氧化硅的硬度、机械强度等有效降低，在机械力的作用下将氧化硅去除。氧化硅的去除速率主要由Preston方程表达。
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多变鹅观草（学名：Roegneria varia）为禾本科鹅观草属下的一个种。
穗状花序直立，长3.5-10厘米（芒除外）；小穗两侧排列，绿色或于成熟时带紫色，含3-5小花；颖长圆状披针形，微不对称，先端锐尖至具小尖头，具3-5脉，脉上粗糙，第一颖长4.5-8毫米，第二颖长6-10毫米；外稃披针形，背部无毛或边缘及上部贴生微毛，上部具明显5脉，第一外稃长7-8.5毫米，先端芒长7-17毫米；内稃与外稃等长，先端微凹，脊中部以上具纤毛，脊间亦贴生微毛。
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唐孝威1949年自上海市南洋模范中学毕业后考入清华大学物理系。1952年毕业后，进入中国科学院近代物理研究所工作，从事核探测器研究以及π介子实验。1956年至1959年间赴苏联杜布纳联合原子核研究所（Joint Institute for Nuclear Research）从事高能物理研究。1960年回国后参加两弹工程，后前往青海核工业部九院工作，他领导的研究室在中子点火实验、核试验近区测试等方面作出了重要贡献。1966年12月的一次氢弹原理实验中，他成为现场判断和证实中国氢弹原理成功的第一人。
1970年代曾加入中国“一星”研制工作，1978年由他带领的科学实验小组赴德国汉堡电子同步加速器中心从事高能物理实验，加入丁肇中领导的马克·杰（Mark-J）探测器合作组工作。后来合作组通过实验了传递强作用力的胶子的存在。1980年他当选中国科学院数学物理学部委员（院士）。其后，他又在国内带领研究组参与欧洲核子研究中心由丁肇中领导的L3国际实验组工作。实验组最后证实了三代中微子的存在。
1980年代后，他结识了贝时璋等知名生物学家，此后他便转而进行物理学与生命科学交叉领域的研究。1994年出任攀登计划项目“核医学和放射治疗中先进技术的基础研究”的首席科学家。此后又开始从事脑科学、神经信息学、心理学等方面的研究，曾参加973计划项目“脑功能和脑重大疾病的基础研究”中“脑高级功能的机制”课题的研究，还代表中国参加过全球“人类脑计划”神经信息学工作组。
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