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磨料是平坦化工艺中研磨材料和化学添加剂的混合物,研磨材料主要是石英,二氧化铝和氧化铈,其中的化学添加剂则要根据实际情况加以选择,这些化学添加剂和要被除去的材料进行反应,弱化其和硅分子联结,这样使得机械抛光更加容易。在应用中的通常有氧化物磨料、金属钨磨料、金属铜磨料以及一些特殊应用磨料。台湾主要的厂商有长兴科技公司。
抛光垫通常使用聚亚胺脂(Polyurethane)材料制造,又称聚氨酯抛光垫、抛光阻尼布、氧化铈抛光垫,利用这种多孔性材料类似海绵的机械特性和多孔特性,表面有特殊之沟槽,提高抛光的均匀性,垫上有时开有可视窗,便于线上检测。通常抛光垫为需要定时整修和更换之耗材,一个抛光垫虽不与晶圆直接接触,但使用寿命约仅为45至75小时。在全球不断并购下,目前主要生产厂商为陶氏化学集团(DOW CHEMICALS)及中国龙头合肥宏光研磨科技生产。
CMP设备与晶圆生产中的抛光设备有相似之处(见上图),但集成电路硅片中很多材料的加入以及金属层的增加使得CMP设备不能如同抛光设备那样简单,而需要加入特别的过程获得平坦化的效果。这主要体现在对抛光厚度、抛光速率的检测上,被称作终点检测,通常有电机电流终点检测、光学终点检测。
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飞氘1983年,男,内蒙古赤峰人,本名贾立元。中国青年科幻作家,现任清华大学中文系副教授。
贾立元的笔名为飞氘,其本科毕业于北京师范大学环境学院、获工学学士学位。2007年9月至2010年7月,就读于北京师范大学文学院,获文学硕士学位。2010年9月至2015年7月,就读于清华大学人文学院中文系,获文学博士学位。
飞氘自2003年起发表科幻和奇幻作品,其短篇科幻小说《一个末世的故事》被翻译成意大利文,收录在世界科幻奇幻年选集《ALIA》中;其作品以结合历史与幻想的“卡尔维诺式”风格著称。曾为郭敬明创立的最世文化旗下的签约作家。
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2016年2月21日晚上10时,伊斯兰国发起进攻。到次日,Rasm Al-Nafal村及哈那塞-阿勒颇公路上另外两处地方在伊斯兰国与阿克萨战士的联合攻击下失守。叙政府通往阿勒颇市的唯一补给线被切断。圣战分子随后攻占另外6个村庄。
2月23日,伊斯兰国攻占Khanasir。政府军其后反攻,夺回哈那塞外围的Syria Tel山及Rasm Al-Nafal。
次日早上,叙军进入哈那塞及另一个村庄。2月25日,叙军老虎部队与友军收复哈那塞,但外围的数个小山仍被伊斯兰国占据。叙军其后向哈那塞北面推进,收复附近的Al-Mughayrat村。与此同时,从北方进攻的叙军于前一天在俄军空袭下取得突破后,成功收复Shilallah al-Kabeera。到2月25日完结时,叙军抵达另外两个村庄,开始为次日早上的新攻势作准备。
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