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1973年，英国南安普敦大学化学系的马丁·弗莱舍曼，帕特里克·J·亨德拉和A.詹姆斯·麦奎伦发现了吸附在电化学粗糙银上的吡啶的表面增强拉曼光谱。这篇论文被引用超过4000次。1977年，两个团队分别注意到散射物质的浓度无法解释增强信号，并且每个团队分别提出了一种增强信号的产生机理，这两种机理现在仍被接受。让马尔和凡·瓦拉赫提出是电磁效应，而阿尔布雷希和克赖顿提出是电荷转移效应。橡树岭国家实验室健康科学研究室的鲁弗斯·里奇，预测了表面等离子体的存在。
表面增强拉曼光谱的确切机理仍然在争论中。有两种机理基本不同的理论，实验中仍无法准确地区分它们。电磁理论提出机理是局部表面等离子体的激发，而化学理论提出是电荷转移配合物的形成。化学理论仅适用于表面已形成化学键的物质，所以不能解释所有观察到的增强信号，而电磁理论可以应用于试样只是物理吸附在表面的情况下。最近的研究表明，当激发分子远离承载金属纳米颗粒的表面，导致表面等离子体现象时，表面增强拉曼现象也可以发生。这一观察有力支撑了表面增强拉曼光谱的电磁理论。2015年对表面增强拉曼光谱更强大的扩展技术——多相和多成分超灵敏表面增强拉曼散射（Slippery Liquid-Infused Porous SERS (SLIPSERS)）的研究进一步支持了电磁理论。
当特定表面的电场加强时，物质吸附在该平面上的拉曼光谱的强度会增加。当一束光打至金属表面，被击中的金属表面将会激发出电浆子。另外，只有当电浆子的震动方向与金属表面垂直时才会发生拉曼散射；反之，拉曼散射不会发生。因此，表面增强拉曼光谱(SERS)实验需要使用粗糙的金属表面或者使用经过排列的纳米微粒(nano-particle)才能有效地加强拉曼光谱。
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* 《后汉书卷六十上·马融列传第五十上》：「……丰千亿之子孙，历万载而永延……」
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